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产业化基地成立以来,坚持以发展本地集成电路产业,建立健全产业链,壮大产业集群,提供良好的产业技术支撑环境为己任,卓有成效地开展了一系列服务工作,取得了显著成绩,有力地推进了西安集成电路产业的发展,并已成为政府推动集成电路产业发展所需产业规划与研究、资源整合与配置、招商引资咨询、企业孵化与扶持、交流与合作、高层次人才引进与培养、专业技术支撑与咨询服务等的桥梁与载体,对西安集成电路产业发展起到了“组织、协调、引导、推进与聚集”的作用,取得了良好的国内外影响和社会效益,为区域新兴科技产业的发展注入了新的活力,为地方集成电路产业规模化奠定了基础。
1.西安集成电路产业发展现状
西安产业化基地坚持“政府引导、市场驱动、深化服务”的方针,以发展集成电路产业,建立健全产业链,壮大产业集群,提供良好的产业支撑环境为目标,建立了较为完善的产业公共服务与技术支撑服务体系。随着一系列扶持集成电路产业优惠政策的制定实施和产业公共服务的不断拓展深化,西安集成电路产业得到了快速发展,在产业规模、产业链完善、自主创新、人才吸引和培养、公共技术支撑与服务平台建设等方面取得了一定成就。
产业规模不断增大:经过近10年的发展,陕西省现有集成电路企业70多家,其中95%都集中在西安,设计企业近50家,制造封装企业8家,硅材料生产企业10家,设备制造企业8家,测试与分析中心3个,相关科研机构约18个,学历教育机构8个,专业培训机构2个,并形成了以西安高新区为核心的集成电路产业聚集区。从引导完善集成电路产业链出发,聚集了英特尔、西岳电子、美光、威世半导体、天胜、应用材料等重点Ic企业,形成了集成电路设计、加工制造、封装测试及半导体支撑等较为完整的产业链。陕西集成电路产业2001年实现销售收入约3.2亿元,2005年达到20.2亿元,2010年达到70.22亿元,“十一五”期间增长近3.5倍。2010年,我国集成电路产业销售收入为1440.15亿元,增幅为29.8%,陕西省2010年销售收入增幅为41.92%,约占全国销售总额的5%。
企业自主创新能力不断提升:目前,西安集成电路企业拥有自主知识产权的产品累计300多种,涵盖了物联网、通信、微处理器、信息家电、半导体照明、消费电子、设备制造、器件研发等多个领域。代表性产品有:华芯的存贮器、西电捷通的WAPI IP核、深亚的SDH芯片、英洛华的LED驱动芯片、龙腾微电子的32位嵌入式CPU、理工晶科的8/12寸硅芯炉、能讯基于氮化镓的开关功率晶体管元器件、炬光的大功率激光器等,充分体现了西安在集成电路领域的巨大潜力和科技研发与创新优势。
人才优势促进产业发展:西安有10多家集成电路研究机构及高校,与集成电路相关的科研、教学与设计的技术人员约占全国的六分之一,在西安交通大学、西安电子科技大学、西北工业大学、西安邮电学院等多所高等院校设有微电子学科或集成电路设计专业及重点实验室,年在校相关学科学生近10万人,年输送相关学科毕业生2万余人,占全国的14%,人才优势为西安承接产业转移提供了充足的人力资源保障。同时,随着本地集成电路产业的兴起,外流人才纷纷回归,2005年以来成立的留学生企业10多家,给西安集成电路产业带来了先进的技术、丰富的管理经验和大量的资金,人力资源和产业资本相互吸引、相互促进的局面正在形成。
公共服务平台辐射带动作用明显:西安基地在做好集成电路设计业的同时,注重发挥基地的辐射带动作用,将服务延伸到整个半导体产业链,提出了发展上游半导体材料与设备、中游集成电路制造、下游集成电路封装与测试产业集群,以及半导体照明、太阳能光伏、先进半导体器件、卫星导航应用等产业集群的建议。目前,以集成电路产业集群为核心、硅材料与太阳能光伏产业集群为支撑、半导体照明与卫星导航应用产业集群为补充的新兴半导体产业正在形成,并已成为西安信息产业新的增长点。
产业发展存在的问题:经过近10年的发展,西安集成电路产业水平得到了大幅的提升。但相比之下,仍然存在一些问题,比如设计业与整机的结合力度不足、产业链相对弱小、支撑业发展滞后、适用性人才不足、产业环境亟需改善等这些因素制约了本地集成电路产业的快速发展。
2.产业发展思路
“十二五”期间,西安将统筹优势资源,优先发展集成电路设计业,大力发展分立器件制造业,积极引进新一代芯片生产线,提升封装测试水平和能力,增强关键设备和基础材料的开发能力;在承接产业转移的过程中,积极促进企业的整合重组,以龙头企业带动产业的发展,促进产业集群的建立,完善产业相关配套环境建设。
政策引领,聚合力量,促进产业大发展。以培育具有国际竞争力的战略性产业为目标,以政府支持和市场需求为导向,以改善产业发展环境和创新机制为手段,引导资本、技术、人才、市场等要素交叉整合,优化配置,统筹协调产、学、研、用各环节有效衔接,形成合力,促进产业结构调整,整合资源,优化结构,重点突破,实现集成电路产业跨越式发展。
着眼全局,推动创新,提升产业竞争力。推行从芯片设计到系统应用的全产业链思维,积极推进技术创新、模式创新、制度创新,推动银企积极合作,大力培育集成电路在新兴产业中的应用,通过改造提升,实现传统产业的升级换代,在产业链各环节形成有核心竞争力的企业,构建战略性集成电路产业研发和产业化体系。
3.产业发展目标
通过新兴产业培育和产业结构调整,到“十二五”末企业数量达到100家以上,全行业销售收入达到400亿元,从业人员达到6万人,其中高端技术、管理人员达到10%,工程技术人员达到40%,高级技术工人达到30%;着重提升产业发展层次和水平,通过转变发展方式和机制创新,建立起以企业为主体、以市场为导向、产学研用相结合的机制,增强企业自主创新能力,全行业加大研发投入力度,企业科研投入强度占销售额的比例平均达到6%,重点骨干企业研发投入强度力争达到8%。
4.产业布局规划
以关天经济区建设为契机,以西安为中心,统筹整合咸阳、宝鸡、渭南、汉中、天水等西部地区现有的微电子产业资源,发展上、下游配套的产业链,建立由“一区四园一基地”组成的西部微电子产业基地。
西安集成电路产业出口加工区:依托西安出口加工区B区,完善其基础及配套设施建设,引进出口加工型企业落户,使区内企业达到10家以上,成为西安集成电路产业国际化的支撑平台。利用出口加工区的政策优势,培育龙头企业,发挥龙头企业的
辐射带动作用,促进相关配套企业跟进,带动集成电路产业的快速发展。
西安集成电路设计产业园:以西安高新技术产业开发区为依托,建设西安集成电路设计产业园,形成集成电路设计企业聚集区,吸纳40-50家集成电路设计企业人驻;建设集中的产业公共技术支撑服务区,营造良好的人力资源供给环境,大力吸引境外跨国公司的研发机构、国内知名企业的设计中心和本地规模设计企业入驻,加大创业企业的扶持力度,使园区成为智力引进和实现企业自主创新的有效载体,成为推动集成电路产业可持续发展的源动力。
西安集成电路制造产业园:以西安高新技术产业开发区为依托,建设西安集成电路制造产业园。以新型分立器件、LED芯片及集成电路制造为核心,加大招商引资力度,吸引5-10家规模制造企业入园,使其成为国内有一定影响力的集成电路制造产业园区。
西安集成电路封装测试产业园:以西安经济技术产业开发区为依托,建设西安集成电路封装测试产业园,大力扶持本地企业,积极引进国内外知名企业及相关配套企业,吸引5-10家企业入驻,将该园区打造成国内有一定影响力的封装测试产业园。
西安集成电路设备与材料产业园:以西咸新区和西安民用航天基地为依托,建设西安集成电路设备与材料产业园,聚集一批设备与材料及相关配套企业聚集的产业园区,吸引15家以上相关企业入驻,发挥我西安装备制造业优势,建成国内一流、西部第一的集成电路设备与材料企业聚集区。
5.进一步完善产业服务体系
自2000年国家科技部在西安设立国家集成电路设计西安产业化基地以来,产业化基地一直采取“政府主导”的建设模式,探索出了一条产业推进、技术支撑与产业服务协调发展的有效模式,建立了较为完善的产业公共服务和技术支撑服务体系,形成了具有鲜明特色的“专业孵化器+产业公共服务+技术支撑服务+专业人才培养”的综合服务体系,能够为企业提供从产业研究、产业咨询、企业孵化、产业推进等产业公共服务和EDA设计服务、MPW&IP服务、封测服务及人才培养等技术支撑服务。“十一五”期间,孵化集成电路企业20多家,通过服务平台为产业发展争取各类资金超过1亿元,举办和参加行业展会近30次,为政府决策提业研究报告和专项报告10多项;利用EDA设计平台开发产品30多个,通过MPW&IP平台流片的产品近200种,流片费用近1亿元,封装测试平台服务项目近100个,培训平台培养各类技术人员4000多人,为企业累计节约成本超过1亿元,极大的促进了西安集成电路产业的发展。
“十二五”期间,产业化基地将以“一区四园一基地”为依托,进一步完善产业服务体系,提升产业化基地的服务能力,促进西安集成电路产业的突破发展。
产业服务方面:建立产品展示交易平台,构建电子商务系统,定期举办和参加有影响力的行业会议,形成全方位的产品展示交易服务体系;搭建投融资服务平台,设立“陕西集成电路专项种子基金”,将政府引导和市场优化资源配置相结合,多渠道引导国内外风险投资基金、金融债券等资金进入集成电路产业,为产业发展提供所需的金融资本支持。
集成电路(IC)产业是战略性、基础性和产业之间关联度很高的产业。它是电子信息产业和现代工业的基础,也是改造提升传统产业的核心技术,已成为衡量一个国家经济和信息产业发展水平的重要标志之一,是各国抢占经济科技制高点、提升综合国力的重点领域。
集成电路产业是典型的知识密集型、技术密集型、资本密集和人才密集型的高科技产业,它不仅要求有很强的经济实力,还要求具有很深的文化底蕴。集成电路产业由集成电路设计、掩模、集成电路制造、封装、测试、支撑等环节组成。随着集成电路技术的提升、市场规模的扩大以及资金投入的大幅提高,专业化分工的优点日益体现出来,集成电路产业从最初的一体化IDM,逐渐发展成既有IDM,又有无集成电路制造线的集成电路设计(Fabless)、集成电路代工制造(Foundry)、封装测试、设备与材料支撑等专业公司。
国家始终把集成电路作为信息产业发展的核心。2000年国家18号文件(《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》)出台后,为我国集成电路产业的发展创造了良好的政策环境。2005年国家制定的《国家中长期科学和技术发展规划纲要 (2006-2020年)》安排了16个国家重大专项,其中两个涉及到集成电路行业,一个是“核心电子器件、高端通用集成电路及基础软件产品”,另外一个则是“集成电路成套工艺、重大设备与配套材料”,分列第一、二位。2008年国家出台的《电子信息产业调整与振兴规划》明确提出:加大鼓励集成电路产业发展政策实施力度,立足自主创新,突破关键技术,要加大投入,集中力量实施集成电路升级,着重建立自主可控的集成电路产业体系。
无锡是中国集成电路产业重镇,曾作为国家南方微电子工业基地,先后承担国家“六五”、“七五”和“九0八”工程。经过近20年的不断发展,无锡不仅积累了雄厚的集成电路产业基础,而且培育和引进了一批骨干企业,有力地推动了我国集成电路产业的发展。2000年,无锡成为国家科技部批准的7个国家集成电路设计产业化基地之一。2008年,无锡成为继上海之后第二个由国家发改委认定的国家微电子高新技术产业基地,进一步确立了无锡在中国集成电路产业中的优势地位,2009年8月7日,温总理访问无锡并确立无锡为中国物联网产业发展的核心城市,微电子工业作为物联网产业发展的基础电子支撑,又引来了新一轮的发展机遇。
发展集成电路产业是实现无锡新区产业结构调整、支撑经济可持续发展、引领经济腾飞、提升创新型城市地位、提高城市综合实力和竞争力的关键。无锡新区应当抓住从世界金融危机中回暖和建设“感知中国中心”的发展机遇,以优先发展集成电路设计业、重视和引进晶圆制造业、优化发展封测配套业、积极扶持支撑业为方向,加大对产业发展的引导和扶持,加快新区超大规模集成电路产业园的建设,加强高端人才的集聚和培育,实现无锡市委市政府提出的“把无锡打造成为中国真正的集成电路集聚区、世界集成电路的高地、打造‘中国IC设计第一区’和‘东方硅谷’品牌的愿景”,实现新区集成电路产业的跨越式发展。
2新区超大规模集成电路园
(2010年-2012年)行动计划
2.1 指导思想
全面贯彻落实科学发展观,坚持走新型工业化道路,紧跟信息产业发展的世界潮流,以积极扶持、引导现有存量企业为基础,以引进和孵化为手段,以重点项目为抓手,大力集聚高科技人才,加大政府推进力度,提高市场化运行程度,强攻设计业,壮大制造业,构建集成电路设计、制造、封装测试、系统应用、产业支撑于一体的完整IC产业链,建成“东方硅谷”。
2.2 发展目标
从2010年到2012年,无锡新区集成电路产业年均引进企业数15家以上,期内累计新增规范IC企业40家,期末产业链企业总数120家以上,产业规模年均增长25%以上,2012年目标400亿元,到2015年,全区集成电路产业规模达到800亿元,占全国比重达20%以上。年均引进和培养中、高级IC人才600名,期内累计新增2000名,期末专业技术高端人才存量达3000名。
2.3 主要任务
2.3.1 重点发展领域
按照“优先发展集成电路设计业,重点引进晶圆制造业,优化提升封装测试业,积极扶植支撑业”的基本思路,继续完善和落实产业政策,加强公共服务,提升自主创新能力,推进相关资源整合重组,促进产业链各环节的协调发展,形成无锡市集成电路产业最集中区域。
2.3.2 产业发展空间布局
集成电路产业是无锡新区区域优势产业,产业规模占据全市70%以上,按照“区域集中、产业集聚、发展集约”的原则,高标准规划和建设新区超大规模集成电路产业园,引导有实力的企业进入产业园区,由园区的骨干企业作龙头,带动和盘活区域产业,增强园区产业链上下游企业间的互动配合,不断补充、丰富、完善和加强产业链建设,形成具有竞争实力的产业集群,成为无锡新区集成电路产业发展的主体工程。
无锡新区超大规模集成电路产业园位于无锡新区,距离无锡硕放机场15公里,距无锡新区管委会约3公里。
超大规模集成电路产业园区总规划面积3平方公里,规划区域北起泰山路、西至锡仕路,东临312国道和沪宁高速公路,南至新二路。园区规划主体功能区包括制造业区设计孵化区、设计产业化总部经济区、设计产业化配套服务区等,占地共700亩,规划基础配套区包括建设园内干道网和开放式对外交通网络,同步配套与发展IC设计产业相关联的宽带网络中心、国际卫星中心、国际培训中心等,按照园内企业人群特点,规划高端生活商务区。
园区目前已有国内最大工艺最先进的集成电路制造企业海力士恒亿半导体,南侧有KEC等集成电路和元器件制造、封测企业。园区的目标是建成集科研教育区、企业技术产品贸易区、企业孵化区、规模企业独立研发区和生活服务区于一体的高标准、国际化的集成电路专业科技园区,作为承接以IC设计业为主体、封测、制造、系统方案及支撑业为配套的企业创新创业的主要载体。支持跨国企业全球研发中心、技术支持中心、产品系统方案及应用、上下游企业交流互动、规模企业独立研发配套设施、物流、仓储、产品营销网点、国际企业代表处等的建设,组建“类IDM”的一站式解决方案平台。
2.3.3 主要发展方向与任务
(1)集成电路设计业
集成电路设计是集成电路产业发展的龙头,是整个产业链中最具引领和带动作用的环节,处于集成电路价值链的顶端。国家对IC产业、特别是IC设计业发展的政策扶持为集成电路发展IC设计产业提供了良好的宏观政策环境。“核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品”与“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”列在16个重大专项的第一、二位,说明政府对集成电路产业的高度重视。这两个重大专项实施方案的通过,为IC设计企业提升研发创新能力、突破核心技术提供了发展机遇。新区集成电路产业的发展需要密切结合已有产业优势,顺应产业发展潮流,进一步促进集成电路产业的技术水平和整体规模,实现集成电路设计产业新一轮超常规的发展。
1)、结合现有优势,做大做强以消费类为主的模拟芯片产业。
无锡集成电路产业发展起步早,基础好,实力强。目前,无锡新区积聚了60余家集成电路设计企业,包括国有企业、研究机构、民营企业以及近几年引进的海归人士创业企业。代表性企业包括有:华润矽科、友达、力芯、芯朋、美新、海威、无锡中星微、硅动力、紫芯、圆芯、爱芯科、博创、华芯美等公司。产品以消费类电子为主,包括:DC/DC、ADC/DAC、LED驱动、射频芯片、智能电网芯片等,形成了以模拟电路为主的产品门类集聚,模拟IC产品的研发和生产,成为无锡地区IC设计领域的特色和优势,推动以模拟电路产品开发为基础的现有企业实现规模化发展,是新区集成电路产业做大做强的坚实基础。
2)结合高端调整战略,持续引进、培育系统设计企业。
无锡“530”计划吸引众多海外高端集成电路人才到无锡创业,已经成为无锡城市的一张“名片”,并在全球范围内造就了关注高科技、发展高科技的影响力。以海归人员为代表的创业企业相继研发成功通信、MEMS、多媒体SOC等一批高端产品,为无锡高端集成电路设计的战略调整,提供了坚实的人才基础和技术基础。随着海峡两岸关系的平缓与改善,中国台湾正在考虑放宽集成电路设计企业到大陆投资政策,新区要紧紧抓住这一机遇,加大对中国台湾集成电路设计企业的引进力度。新区拥有相对完善的基础配套设施、宜居的人文环境、浓厚的产业氛围、完备的公共技术平台和服务体系,将成高端集成电路人才创业的首选。
3)结合电子器件国产化战略,发展大功率、高电压半导体功率器件。
高效节能已经成为未来电子产品发展的一个重要方向,电源能耗标准已经在全球逐步实施,将来,很多国家将分别实施绿色电源标准,世界各国已对家电与消费电子产品的待机功耗与效率开始实施越来越严格的省电要求,高效节能保护环境已成为当今共识。提高效率与减小待机功耗已成为消费电子与家电产品电源的两个非常关键的指标。中国目前已经开始针对某些产品提出能效要求,此外,欧美发达国家对某些电子产品有直接的能效要求,如果中国想要出口,就必须满足其能效要求,这些提高能效的要求将会为功率器件市场提供更大的市场动力。功率器件包括功率IC 和功率分立器件,功率分立器件则主要包括功率MOSFET、大功率晶体管和IGBT 等半导体器件,功率器件几乎用于所有的电子制造业,除了保证设备的正常运行以外,功率器件还能起到有效的节能作用。由于制造工艺等因素的限制,形成相对较高的技术门槛,同时,新区企业拥有的深厚的模拟电路技术功底以及工艺开发制造能力,作为一种产业化周期相对较短的项目,现在越来越清晰的看到,模拟和功率器件是新区集成电路设计业的重点发展方向。
4)结合传感网示范基地建设,发展射频电子、无线通信、卫星电子、汽车电子、娱乐电子及未来数字家居电子产业。
“物联网”被称为继计算机、互联网之后,世界信息产业的第三次浪潮。专家预测10年内物联网就可能大规模普及,应用物联网技术的高科技市场将达到上万亿元的规模,遍及智能交通、环境保护、公共安全、工业监测、物流、医疗等各个领域。目前,物联网对于全世界而言都刚起步,各个国家都基本处于同一起跑线。温总理访问无锡并确立无锡为未来中国传感网产业发展的核心城市,将成为难得的战略机遇,新区集成电路产业应该紧紧围绕物联网产业发展的历史机遇,大力发展射频电子、MEMS传感技术、数字家居等,为传感网示范基地建设和物联网产业的发展,提供有效的基础电子支撑。
(2)集成电路制造业
重大项目,特别是高端芯片生产线项目建设是扩大产业规模、形成产业集群、带动就业、带动产业发展的重要手段。是新区集成电路产业壮大规模的主要支撑,新区要确保集成电路制造业在全国的领先地位,必须扶持和推进现有重点项目,积极引进高端技术和特色配套工艺生产线。
1)积极推进现有大型晶园制造业项目
制造业投资规模大,技术门槛高,整体带动性强,处于产业链的中游位置,是完善产业链的关键。新区集成电路制造业以我国的最大的晶圆制造企业无锡海力士-恒亿半导体为核心,推动12英寸生产线产能扩张,鼓励企业不断通过技术改造,提升技术水平,支持企业周边专业配套,完善其产业链。鼓励KEC等向集成器件制造(IDM)模式的企业发展,促进设计业、制造业的协调互动发展。积极推进落实中国电子科技集团公司第58所的8英寸工艺线建设,进一步重点引进晶圆制造业,确保集成电路制造业在国内的领先地位。
2)重视引进高端技术与特色工艺生产线
国际IC大厂纷纷剥离芯片制造线,甩掉运转晶圆制造线所带来的巨大成本压力,向更专注于IC设计的方向发展。特别是受国际金融危机引发的经济危机影响以来,这一趋势更为明显,纷纷向海外转移晶圆制造线,产业园将紧紧抓住机遇,加大招商引资力度。在重点发展12英寸、90纳米及以下技术生产线,兼顾8英寸芯片生产线的建设的同时,重视引进基于MEMS工艺、射频电路加工的特色工艺生产线,协助开发模拟、数模混合、SOI、GeSi等特色工艺产品,实现多层次、全方位的晶圆制造能力。
(3)集成电路辅助产业
1)优化提升封装测试业
无锡新区IC封装测试业以对外开放服务的经营模式为主,海力士封装项目、华润安盛、英飞凌、东芝半导体、强茂科技等封测企业增强了无锡新区封测环节的整体实力。近年来封测企业通过强化技术创新,在芯片级封装、层叠封装和微型化封装等方面取得突破,缩短了与国际先进水平的差距,成为国内集成电路封装测试的重要板块。
随着3G手机、数字电视、信息家电和通讯领域、交通领域、医疗保健领域的迅速发展,集成电路市场对高端集成电路产品的需求量不断增加,对QFP(LQFP、TQFP)和QFN等高脚数产品及FBP、MCM(MCP)、BGA、CSP、3D、SIP等中高档封装产品需求已呈较大的增长态势。无锡新区将根据IC产品产业化对高端封测的需求趋势,积极调整产品、产业结构,重点发展系统级封装(SIP)、芯片倒装焊(Flipchip)、球栅阵列封装(BGA)、芯片级封装(CSP)、多芯片组件(MCM)等先进封装测试技术水平和能力,提升产品技术档次,促进封测产业结构的调整和优化。
2)积极扶持支撑业
支撑与配套产业主要集中在小尺寸单晶硅棒、引线框架、塑封材料、工夹具、特种气体、超纯试剂等。我国在集成电路支撑业方面基础还相当薄弱。新区将根据企业需求,积极引进相关配套支撑企业,实现12英寸硅抛光片和8~12英寸硅外延片、锗硅外延片、SOI材料、宽禁带化合物半导体材料、光刻胶、化学试剂、特种气体、引线框架等关键材料的配套。以部分关键设备、材料为突破口,重视基础技术研究,加快产业化进程,提高支撑配套能力,形成上下游配套完善的集成电路产业链。
3保障措施
国家持续执行宏观调控政策、集成电路产业升温回暖以及国内IC需求市场持续扩大、国际IC产业持续转移和周期性发展是无锡新区集成电路产业发展未来面临的主要外部环境,要全面实现“规划”目标,就必须在落实保障措施上很下功夫。2010-2012年,新区集成电路产业将重点围绕载体保障、人才保障、政策保障,兴起新一轮环境建设和招商引智,实现产业的转型升级和产业总量新的扩张,为实现中国“IC设计第一区”打下坚实的基础。
3.1 快速启动超大规模集成电路产业园载体建设
按照相关部门的部署和要求,各部门协调分工负责,前后联动,高起点规划,高标准建设。尽快确定园区规划、建设规划、资金筹措计划等。2010年首先启动10万平方米集成电路研发区载体建设,2011年,进一步加大开发力度,基本形成园区形象。
3.2 强力推进核“芯”战略专业招商引智工程
以国家集成电路设计园现有专业招商队伍为基础,进一步补充和完善具备语言、专业技术、国际商务、投融资顾问、科技管理等全方位能力的专门化招商队伍;区域重点突破硅谷、中国台湾、北京、上海、深圳等地专业产业招商,聚焦集成电路设计业、集成电路先进制造业、集成电路支撑(配套)业三个板块,引导以消费类为主导的芯片向高端系统级芯片转变,以创建中国“集成电路产业第一园区”的气魄,调动各方资源,强力推进产业招商工作。
3.3 与时俱进,不断更新和升级公共技术服务平台
进一步仔细研究现有企业对公共服务需求情况,在无锡IC基地原有EDA设计服务平台、FPGA创新验证平台、测试及可靠性检测服务平台、IP信息服务平台以及相关科技信息中介服务平台的基础上,拓展系统芯片设计支撑服务能力,搭建适用于系统应用解决方案开发的系统设计、PCB制作、IP模块验证、系统验证服务平台。为重点培育和发展的六大新兴产业之一的“物联网”产业的发展提供必要的有效的服务延伸。支持以专用芯片设计为主向系统级芯片和系统方案开发方向延伸,完善、调整和优化整体产业结构。支持集成电路芯片设计与MEMS传感器的集成技术,使传感器更加坚固耐用、寿命长、成本更加合理,最终使传感器件实现智能化。
3.4 内培外引,建设专业人才第一高地
加大人才引进力度。针对无锡新区集成电路产业发展实际需求,丰富中高级人才信息积累,每年高级人才信息积累达到500名以上。大力推进高校集成电路人才引导网络建设,与东南大学、西安电子科技大学、成都电子科技大学等国内相关院校开展合作,每年引进相关专业应届毕业生500人以上,其中研究生100人以上。及时研究了解国内集成电路产业发达地区IC人才结构、人才流动情况,实现信息共享,每年引进IC中高级人才200人以上。积极开展各类国际人才招聘活动,拓宽留学归国人员引进渠道,力争引进国际IC专家、留学归国人员100人以上。到2012年,无锡新区IC设计高级专业技术人才总数达到3000人。
建立健全教育培训体系。以东南大学的集成电路学院在无锡新区建立的高层次人才培养基地为重点,到2012年硕士及以上学历培养能力每年达到500人。支持江南大学、东南大学无锡分校扩大本科教育规模,加强无锡科技职业学院集成电路相关学科的办学实力,建立区内实践、实习基地,保障行业对各类专业技术人才的需求。与国际著名教育机构联合建立高层次的商学院和公共管理学院,面向企业中高层管理人员,加强商务人才和公共管理人才的培养。
3.5 加强制度创新,突出政策导向
近几年,新区管委会多次调整完善对IC设计创新创业的扶持力度(从科技18条到55条),对IC设计产业的发展起了很大的作用,根据世界IC产业发展新态势、新动向,结合新区IC产业现状及未来发展计划,在2009年新区科技55条及其它成功践行政策策略基础上,建议增加如下举措:
1、在投融资方面,成立新区以IC设计为主的专业投资公司,参考硅谷等地成熟理念和方法,通过引进和培养打造一支专业团队,管理新区已投资的IC设计公司,成立每年不少于5000万元的重组基金,在国家IC设计基地等配合下,通过资本手段,移接硅谷、新竹、筑波等世界最前沿IC设计产业化项目,推进新区IC设计公司改造升级,进军中国乃至世界前列。
2、政策扶持范围方面,从IC设计扩大到IC全产业链(掩模、制造、封装、测试等),包括设备或材料、配件供应商的办事处或技术服务中心等。
3、在提升产业链相关度方面,对IC设计企业在新区内配套企业加工(掩模、制造、封装、测试)的,其缴纳的增值税新区留成部分进行补贴。
4、在高级人才引进方面,将2009年55条科技政策中关于补贴企业高级技术和管理人才猎头费用条款扩大到IC企业。
为满足集成电路方面教学和科研的需要,同济大学电子科学与技术系以985三期实验室建设、教育部修购计划两项经费所购置的设备为主体,充分整合利用本系目前已有的设备,完成了一个覆盖完整的集成电路设计平台的构建。依托同济大学第8期实验教改项目的支持,电子科学与技术系在平台的应用方面进行了有益的探索:针对本科生实验教学完成了集成电路设计系列实验课程开设;在集成电路相关科研项目中进行了实际应用,为科研工作提供了良好的支撑。
【关键词】
集成电路;设计平台;实验教学;科研
进入21世纪之后,集成电路在我国相关产业及教育领域的重要性日益凸显。2000年6月,国务院了纲领性文件《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》(国发2000〔18号〕)[1],明确了集成电路作为国家战略性新兴产业的地位。在其后的国家中长期科技发展规划等文件中,均将集成电路列为重要的发展方向,自此我国集成电路产业进入了蓬勃发展的时期。产业的快速发展必然需要科技和教育的配合。基于此原因,国务院科教领导小组批准实施国家科技重大专项—集成电路与软件重大专项,其后教育部、科技部决定在国内有相对优势的高等院校建立国家集成电路人才培养基地,分别于2003年、2004年及2009年分3批批准和支持20所高校进行人才培养基地的建设工作。笔者所在的同济大学为第2批建设的6所高校之一。
同济大学电子科学与技术系成立于2002年,历史较短,在集成电路方面的基础较为薄弱。但自成立之初便将集成电路设计列为最重要的教学与科研方向之一,参考国际知名高校以及国内兄弟院校的先进经验[2-4],在课程设置等人才培养环节进行了积极的探索[5]。但是,集成电路设计强调工程设计实践,如果缺乏相应的设计平台,仅以理论知识为主,会导致培养出的学生与产业需求契合度不高。这也是诸多高校在集成电路设计的实验设置及实践环节进行教学改革和积极探索的原因[6-7]。我系也意识到亟须加强实践环节的相关建设。基于以上原因,我们充分利用985三期实验室建设、教育部修购计划两项经费的支持,在集成电路设计平台的构建方面进行了积极的尝试。
1建设方案与建设过程
1.1平台建设的基础依托985二期实验室建设、教育部修购计划两项经费为我系的教学改革提供了非常有力的支持,根据各个学科方向的统筹规划,分配约150万元用于集成电路及与系统设计相关的设备购置。购置的设备见表1、表2。除以上两部分设备之外,本系已经部分购置了与集成电路设计相关的设备,如Dell服务器、SUN工作站、各类测试与信号发生设备等。因此,我系已经初步具备了建设一个覆盖半导体器件制备与分析、集成电路设计与测试、系统级设计验证完整流程的专业实验与设计平台的基础条件。
1.2总体构想与平台规划基于上述基础硬件设备,我系在有限的场地资源中安排了专门的场地作为半导体器件与集成电路设计专业实验室,以支持集成电路设计平台的建设。将拟建设的半导体与集成电路设计专业实验室划分为4个功能区:服务器与中央控制区、集成电路设计区、集成电路分析与测试区、系统级设计与验证区。总体的规划如图1所示,功能与设备支撑概述如下。(1)服务器与中央控制区。主要空间用于放置3个机柜、承载两个机架式服务器(HP、Dell)、存储阵列(SAS15000RPM接口、初始配置7.2TB)、一个卧式服务器(超微)以及UPS电源、万兆交换机等供电和网络配件。需注意该部分噪声较大,故应与实验室其他功能区隔离。提供VPN、远程配置以及各类必要的服务,配置完整的EDA工具系统,覆盖集成电路设计全流程。(2)集成电路设计区。20个左右的工位,主要为HP工作站。具备两类工作方式:作为终端登录服务器系统使用;在服务器系统不能提供支持时独立使用。除工作站之外,配备2~3个文件柜、工具柜。(3)集成电路分析与测试区。主要功能为集成电路(晶圆、裸片、封装后芯片)的分析、测试。分析与测试系统以两套手动探针测试台(包括基座、卡盘、ADV显微镜)、超长焦金相显微镜(超长工作距离,2000倍放大)、4套微米级精确位移系统(包括探针、针臂、针座、线缆与接口)为主,并配备2台台式计算机以及信号发生器、稳压电源、逻辑分析仪1台、示波器1台,用作信号发生与记录、信号与图像采集功能。配备两个实验工具柜。(4)系统级设计与验证区。6个工位,配备2~3台计算机。考虑到面积有限,而该区功能较多,以多功能复用的方式设置工位的功能。该区的功能包括:①板级电路设计与测试。主要支撑设备为必要的计算机系统(软、硬件)。多台逻辑分析仪、示波器、信号发生器、万用表、稳压电源、必要的电子元器件及焊接设备等。②基于FPGA的系统设计。主要支撑设备为计算机系统(软、硬件)、4套Virtex-5FPGA系统。③嵌入式系统设计。主要支撑设备为计算机系统、3套VeriSOC-ARM9开发平台、多套PSoC开发套件、多套ARM开发套件、微控制器开发套件等。④集成电路系统级验证。与板级电路与测试共用各类设备。
1.3软硬件系统与设计流程构建基于新购买的存储阵列(NetApp)、服务器(DL380G7)、交换机(CISCO),并整合本系统原有的两台服务器(一台Dell机架式、一台超微立式),构成一个EDA开发服务系统。系统构建方面,我们进行了基于传统的EDA开发环境架构,以及基于虚拟化系统进行构建的两种尝试。存储结构上基于存储阵列,提供足够安全的冗余备份与保护。系统具备负载均衡功能。最终构建的系统可直接支持同一实验室内20台以上HP工作站的同时接入,并提供远程登录支持;以及通过同济大学校园网,提供外网的VPN接入支持。在硬件系统的基础上,我们安装配置了完善的EDA工具链,以提供覆盖全流程的集成电路设计支持。
2教学与科研应用
前述所构建的集成电路设计平台仅是基础的软硬件系统,如果要在实际的教学和科研工作中进行使用,尚需进行相关的课程大纲规划、实验方案设计以及实际的芯片设计检验。通过同济大学第8期实验教学改革项目的支持,我们在这些方面开展了一定的工作,主要包括以下两个方面。
2.1教学应用完成了实验方案内容建设,构建形成了一套覆盖集成电路设计全流程的实验方案,并兼顾半导体器件、集成电路测试;设计的系列实验应用于新开设的“集成电路设计实验”课程中,以丰富和扩展该门课程的实验内容,提高学生的学习积极性。该课程每周4学时,已经完成2013、2014两个学年的实验教学工作。具体的实验内容包括反相器实验(电路原理图输入、电路仿真、版图设计、版图设计规则检查及一致性检查、后仿真)、一位全加器系列试验、基本模拟电路单元设计实验、综合定制设计实验、硬件描述语言设计与验证实验(选做)、自动综合与布局布线设计实验(选做)。构建的软硬件平台,除用于集成电路设计实验课之外,亦用于电子系“半导体器件物理”“半导体工艺原理”等多门课程的实验环节,以及本科生毕业设计中。与现有的本科生各类创新活动相结合,为该类活动的人员选拔与培养、培训起到了一定的辅助作用。
2.2科研应用集成电路设计平台除用于相关的实验教学任务之外,亦可为相关的科研工作提供良好的支撑。在该平台所定义的开发环境及设计流程上,我们完成了两款65纳米工艺超大规模集成电路芯片的设计工作,其中一款已经返回,并进行了较为完整的测试,功能及性能均符合预期,芯片如图2、图3所示。这些设计很好地确证了该平台的完整性和可靠性。
【参考文献】
[1]国务院.国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知[EB/OL].2006-6.
[2]叶红.美国高校电子工程类专业本科培养方案浅析[J].高等理科教育,2007(6):64-67.
[3]于歆杰,王树民,陆文娟.麻省理工学院教育教学考察报告(二)—培养方案与课程设置篇[J].电气电子教学学报.2004(5):1-5.
[4]Bulletinforundergraduateeducation[EB/OL].
[5]罗胜钦,王遵彤,万国春,等.电子科学与技术专业培养方案初探[J].电气电子教学学报.2009(31):89-91.
[6]张立军,羊箭锋,孙燃.CMOS集成电路设计教学及实验改革[J].电气电子教学学报.2012,34(1):105-107.
引言
微电子产业在我国不断的发展壮大,微电子企业对微电子技术人才的需求在逐年增加,高技能型微电子技术人才的缺乏成为制约微电子制造企业发展的瓶颈之一。我校微电子技术专业在“校企共培、角色渐变”的双主体人才培养模式下,不断深化课程体系改革,构建了校企共同构建岗位职业技能培养和学生素质提升并重的课程体系。
《集成电路制造工艺》是微电子技术专业针对集成电路生产企业中集成电路制造工艺员岗位而开设的一门核心主干课,集成电路制造工艺员是微电子技术专业学生就业的重要岗位之一。目前,集成电路制造工艺课程经过多年的校企共同开发建设,在教学内容、教学方法以及教学手段上不断进行探索和实践,获得了一些实践经验。
1.高职集成电路制造工艺课程建设中存在的问题
(1)缺少面向高职学生、适合高职教学的教材。目前出版的集成电路制造工艺教材讲述理论知识的偏多,近年面向高职出版的教材尽管增加了实际操作的内容,但多数停留在设备介绍上面,关于企业实际工艺操作流程介绍还不够。
(2)缺少集成电路制造工艺实践教学条件。集成电路制造实验设备比较专业并且比较昂贵,设备维护费用高,目前开设集成电路工艺课程的学校拥有集成电路制造实验室的学校相当的少,和实际的生产工艺环境存在一定的差距。
(3)教学组织上大多数才用的是传统的课堂理论教学,教学效果不理想。集成电路制造工艺介绍的工艺原理对于高职学生来说过于抽象,难以理解,老师难以调动学生的学习积极性,教学效果总是不理想。
(4)课程考核模式大多数采用传统的笔试的形式,缺乏对学生在学习过程中的考核,对于学生的学习情况不能及时的掌握,导学促教的功能难以发挥。
2.“教学做”一体化教学模式是集成电路工艺课程改革的有效途径
“教学做”一体化的教学模式源于教育学家陶行知先生提出的“教学做合一”思想,强调了“教学做”三者的统一。“教学做”一体化改变了传统的课堂教学模式,通过课堂的开放式教学,使理论知识学习与实践技能的学习有机地融为一体,充分挖掘出学生掌握知识和技能的潜能,使教师和学生之间形成沟通配合的有机整体。
《集成电路制造工艺》要求学生掌握集成电路制造过程中的各项工艺流程的原理,工艺流程的操作过程以及工艺设备的操作方法等。集成电路制造行业背景和生产环境相比与传统的电子产品制造企业有很大不同,因此在集成电路制造生产性实训基地开展教学是非常必要的,同时,生产性集成电路制造工艺实训基地为“教学做”一体化实施提供了有利的条件。
3. “教学做”一体化教学在集成电路制造工艺课程中的实施
3. 1 课程内容以“任务驱动、项目导向”,按照项目化设置
通过长期的教学和企业实践,将集成电路制造工艺课程以制作具有电路功能的芯片为工作任务,按照企业生产车间的划分,把工作任务分解为若干个子任务,每个子任务对应一个项目,按照项目来组织教学。课程主要内容如表1所示。
3.2“教学做”一体化教学实施条件
“教学做”一体化教学的实施离不开现代化的教学条件,因此,实践性教学基地是集成电路制造工艺课程实施的场所保障。
(1)校内外实践基地。我校已经建成了生产性集成电路制造工艺中心,工艺中心的设备及生产环境和集成电路制造企业实际生产环境基本一致,能够满足基本的生产任务需要。微电子技术专业学生在大三将进入校外实训基地微电子企业进行顶岗实习,在企业资深工艺技师的指导下,边学边做,通过“教学做”的不断实践,从而实现学生从学校毕业生就到企业员工的无缝连接。
(2)双师素质的教师队伍。我校和重庆的主要微电子企业在人才培养模式和课程体系建设上有着长期的校企合作。同时,我校的教师深入到企业调研,参与企业生产实践活动,从而使我校的专任教师具备企业工程师素质;同时,企业派工程师参与专业课程标准的制定,共同确定课程教学内容,共同开发教材等。通过学校企业兼职教师培训及鉴定,来自企业的工程师成为我校的企业兼职教师。
3.3 在教学组织实施过程中贯穿“教学做”一体化教学思想
集成电路制造工艺课程根据项目化课程内容,选择集成电路制造工艺中心为教学场地,展开教学组织活动。集成电路制造工艺中心是一个对洁净度要求非常高的工作环境,因次学生到中心学习必须参照企业员工的着装要求及相关规定进入实训室。
首先,由指导老师给学生介绍工艺的原理、设备及操作工艺流程。然后指导老师给学生做工艺操作的演示、学生在旁边观察学习,老师演示工艺操作以后,紧接着由学生自己来动手的操作,老师在旁边进行指导,整个过程老师和学生教学做一体。在组织教学实施中,以学生为中心,工艺操作过程中碰到问题,由学生自己首先思考,寻解决问题的方法和途径,在条件允许的情况下,可以让学生动手去验证自己的想法是否可行,老师则在旁边进行指导,给学生提出建议。
3.4“教学做”一体化教学模式中课程考核形式多样化
“教学做”一体化教学模式,改变了传统的教学模式,因此,对课程的考核注重对过程的考核。
课程的成绩由出勤率占10%+平时课堂表现占60%+期末综合测试占30%组成。平时课堂表现成绩的认定根据各个项目每个学生的参与程度、解决问题的能力的综合表现来给予评定,最后总成绩为各个项目学生所得成绩之和。因此,学生对整个课程的实施必须全程积极参与,否则将会影响期末成绩的评定。一定程度上提高了学生的学习积极性。同时老师能够及时的掌握学生的学习情况,调整教学内容或者教学方法,更好的组织教学工作。
4. 结束语
集成电路制造工艺课程在教学内容的选取上根据学生面向岗位的要求进行设置,在教学组织实施中,以项目化为导向,在教学的过程中运用“教学做”一体化思想,做到教中学,学中做,做中学,使理论和实践有机的结合在一起,实践证明,学生通过该课程的学习,能够具有企业对集成电路工艺员岗位的职业技能要求。集成电路工艺不断有新技术的出现,企业对集成电路制造人才的质量要求在不断提高,因此,课程在以后的建设中需要不断的完善教学内容,提高教学组织的有效性。(作者单位:重庆城市管理职业学院)
资金资助:重庆城市管理职业学院教改课题(2011jgkt0015)
参考文献
关键词:微电子学;实验室建设;教学改革;
1微电子技术的发展背景
美国工程技术界在评出20世纪世界最伟大的20项工程技术成就中第5项——电子技术时指出:“从真空管到半导体,集成电路已成为当代各行各业智能工作的基石”。微电子技术发展已进入系统集成(SOC—SystemOnChip)的时代。集成电路作为最能体现知识经济特征的典型产品之一,已可将各种物理的、化学的和生物的敏感器(执行信息获取功能)和执行器与信息处理系统集成在一起,从而完成从信息获取、处理、存储、传输到执行的系统功能。这是一个更广义的系统集成芯片,可以认为这是微电子技术又一次革命性变革。因而势必大大地提高人们处理信息和应用信息的能力,大大地提高社会信息化的程度。集成电路产业的产值以年增长率≥15%的速度增长,集成度以年增长率46%的速率持续发展,世界上还没有一个产业能以这样的速度持续地发展。2001年以集成电路为基础的电子信息产业已成为世界第一大产业。微电子技术、集成电路无处不在地改变着社会的生产方式和人们的生活方式。我国信息产业部门准备充分利用经济高速发展和巨大市场的优势,精心规划,重点扶持,力争通过10年或略长一段时间的努力,使我国成为世界上的微电子强国。为此,未来十年是我国微电子技术发展的关键时期。在2010年我国微电子行业要实现下列四个目标:
(1)微电子产业要成为国民经济发展新的重要增长点和实现关键技术的跨越。形成2950亿元的产值,占GDP的1.6%、世界市场的4%,国内市场的自给率达到30%,并且能够拉动2万多亿元电子工业产值。从而形成了500~600亿元的纯利收入。
(2)国防和国家安全急需的关键集成电路芯片能自行设计和制造。
(3)建立起能够良性循环的集成电路产业发展、科学研究和人才培养体系。
(4)微电子科学研究和产业的标志性成果达到当时的国际先进水平。
在这一背景下,随着国内外资本在微电子产业的大量投入和社会对微电子产品需求的急骤增加,社会急切地需要大量的微电子专门人才,仅上海市在21世纪的第一个十年,就需要微电子专门人才25万人左右,而目前尚不足2万人。也正是在这一背景下,1999年以来,全国高校中新开办的微电子学专业就有数十个。2002年8月教育部全国电子科学与技术专业教学指导委员会在贵阳工作会议上公布的统计数据表明,相当多的高校电子科学与技术专业都下设了微电子学方向。微电子技术人才的培养已成为各高校电子信息人才培养的重点。
2微电子学专业实验室建设的紧迫性
我国高校微电子学专业大部分由半导体器件或半导体器件物理专业转来,这些专业的设立可追溯到20世纪50年代后期。办学历史虽长,但由于多年来财力投入严重不足,而微电子技术发展迅速,国内大陆地区除极个别学校外,其实验教学条件很难满足要求。高校微电子专业实验室普遍落后的状况,已成为制约培养合格微电子专业人才的瓶颈。
四川大学微电子学专业的发展同国内其它院校一样走过了一条曲折的道路。1958年设立半导体物理方向(专门组),在其后的40年中,专业名称几经变迁,于1998年调整为微电子学。由于社会需求强劲,1999年微电子学专业扩大招生数达90多人,是以往招生人数的2倍。当时,我校微电子学专业的办学条件与微电子学学科发展的要求形成了强烈反差:实验室设施陈旧、容量小,教学大纲中必需的集成电路设计课程和相应实验几乎是空白;按照新的教学计划,实施新课程和实验的时间紧迫,基本设施严重不足;教师结构不合理,专业课程师资缺乏。
在关系到微电子学专业能否继续生存的关键时期,学校组织专家经过反复调研、论证,及时在全校启动了“523实验室建设工程”。该工程计划在3~5年时间内,筹集2~3亿资金,集中力量创建5个适应多学科培养创新人才的综合实验基地;重点建设20个左右基础(含专业及技术基础)实验中心(室);调整组合、合理配置、重点改造建设30个左右具有特色的专业实验室。“523实验室建设工程”的启动,是四川大学面向21世纪实验教学改革和实验室建设方面的一个重要跨越。学校将微电子学专业实验室的建设列入了“523实验室建设工程”首批重点支持项目,2000年12月开始分期拨款275万元,开始了微电子学专业实验室的建设。怎样将有限的资金用好,建设一个既符合微电子学专业发展方向,又满足本科专业培养目标要求的微电子学专业实验室成为我们学科建设的重点。
3实验室建设项目的实施
3.1整体规划和目标的确立
微电子技术的发展要求我们的实验室建设规划、实验教改方案、人才培养目标必须与其行业发展规划一致,既要脚踏实地,实事求是,又必须要有前瞻性。尤其要注意国际化人才的培养。微电子的人才培养若不能实现国际化,就不能说我们的人才培养是成功的。
基于这样的考虑,在调查研究的基础上,我们将实验室建设整体规划和目标确定为:建立国内一流的由微电子器件平面工艺与器件参数测试综合实验及超大规模集成电路芯片设计综合实验两个实验系列构成的微电子学专业实验体系,既满足微电子学专业教学大纲要求,又适应当今国际微电子技术及其教学发展需求的多功能的、开放性的微电子教学实验基地。我们的目标是:
(1)建立有特色的教学体系——微电子工艺与设计并举,强化理论基础、强化综合素质、强化能力培养。
(2)保证宽口径的同时,培养专业技能。
(3)建立开放型实验室,适应跨学科人才的培养。
(4)在全国微电子学专业的教学中具有一定的先进性。
实践中我们认识到,要实现以上目标、完成实验室建设,必须以教学体系改革、教材建设为主线开展工作。
3.2重组实验教学课程体系,培养学生的创新能力和现代工业意识
实验课程体系建设的总体思路是培养创造性人才。实验的设置要让学生成为实验的主角和与专业基础理论学习相联系的主动者,能激发学生的创造性,有专业知识纵向和横向自主扩展和创新的余地。因此该实验体系将是开放式的、有层次的和与基础课及专业基础课密切配合的。实验教学的主要内容包括必修、选修和自拟项目。我们反复认真研究了教育部制定的本科微电子学专业培养大纲及国际上对微电子学教学提出的最新基本要求。根据专业的特点,充分考虑目前国内大力发展集成电路生产线(新建线十条左右)和已成立近百家集成电路设计公司对人才的强烈需求,为新的微电子专业教学制定出由以下两个实验系列构成的微电子学专业实验体系。
(1)微电子器件平面工艺与器件参数测试综合实验。
这是微电子学教学的重要基础内容,也是我校微电子学教学中具有特色的实验课程。这一实验系列将使学生了解和初步掌握微电子器件的主要基本工艺,工艺参数的控制方法和工艺质量控制的主要检测及分析方法,深刻地了解成品率在微电子产品生产中的重要性。同时,半导体材料特性参数的测试分析系列实验是配合“半导体物理”和“半导体材料”课程而设置的基本实验,通过整合,实时地与器件工艺实验配合,虽增加了实验教学难度,却使学生身临其境直观地掌握了工艺对参数的影响、参数反馈对工艺的调整控制、了解半导体重要参数的测试方法并加深对其相关物理内涵的深刻理解。这样的综合实验,对于学生深刻树立产品成品率,可靠性和生产成本这一现代工业的重要意识是必不可少的。
(2)超大规模集成电路芯片设计综合实验。
这是微电子学教学的重点基础之一。教学目的是掌握超大规模集成电路系统设计的基本原理和规则,初步掌握先进的超大规模集成电路设计工具。该系列的必修基础实验共80学时,与之配套的讲授课程为“超大规模集成电路设计基础”。除此而外,超大规模集成电路测试分析和系统开发实验不仅是与“超大规模集成电路原理”和“电路系统”课程套配,使学生更深刻的理解和掌握集成电路的特性;同时也是与前一系列实验配合使学生具备自拟项目和独立创新的理论及实验基础。
3.3优化设施配置,争取项目最佳成效
由于项目实施的时间紧迫、资金有限。我们非常谨慎地对待每一项实施步骤。力图实现设施的优化配置,使项目产生最佳效益。最终较好地完成了集成电路设计实验体系和器件平面工艺实验体系的实施。具体内容包括:
(1)集成电路设计实验体系。集成电路设计实验室机房的建立——购买CADENCE系统软件(IC设计软件)、ZENILE集成电路设计软件;集成电路设计实验课程体系由EDA课程及实验、FPGA课程及实验、PSPICE电路模拟及实验、VHDL课程及实验、ASIC课程及实验、IC设计课程及实验等组成。
(2)器件平面工艺实验体系和相关参数测试分析实验。结合原有设备新购并完善平面工艺实验系统,包括:硼扩、磷扩、氧化、清洗、光刻、金属化等;与平面工艺同步的平面工艺参数测试,包括:方块电阻、C-V测试(高频和准静态)、I-V测试、Hall测试、膜厚测试(ELLIPSOMETRY)及其它器件参数测试(实时监控了解器件参数,反馈控制工艺参数);器件、半导体材料物理测试设备,如载流子浓度、电阻率、少子寿命等。
(3)与实验室硬件建设配套的软件建设和环境建设。实验室环境建设、实验室岗位设置、实验课程的系统开设、向相关学院及专业提出已建实验室开放计划、制定各项管理制度。
在实验室的阶段建设中,我们分步实施、边建边用、急用优先,在建设期内就使实验室发挥出了良好的使用效益。
3.4强化管理,实行教师负责制
新的实验室必须要有全新的管理模式。新建实验室和实验课程的管理将根据专业教研室的特点,采取教研室主任和实验室主任统一协调下的教师责任制。在两大实验板块的基础上,根据实验内容的布局进一步分为4类(工艺及测试,物理测试,设计和集成电路参数测试,系统开发)进行管理。原则上,实验设施的管理及实验科目的开放由相应专业理论课的教师负责,在项目的建立阶段,将按前述的分工实施责任制,其责任的内容包括:组织设备的安装调试,设备使用规范细则的制定,实验指导书的编写等。根据专业建设的规划,在微电子实验室建设告一段落后,主管责任教师将逐步由较年青的教师接任。主管责任教师的责任包括:设备的维护和保养,使用规范和记录执行情况的监督,组织对必修和选修科目实验指导书的更新,组织实验室开放及辅导教师的安排,完善实验室开放的实施细则等。
实验课将是开放式的。结合基础实验室的开放经验和微电子专业实验的特点,要求学生在完成实验计划和熟悉了设备使用规范细则的条件下,对其全面开放。对非微电子专业学生的开放,采取提前申请,统一完成必要的基础培训后再安排实验的方式。同时将针对一些专业的特点编写与之相适应的实验教材。
4取得初步成果
微电子学专业实验室通过近3年来的建设运行,实现或超过了预期建设目标,成效显著,于2002年成功申报为";四川省重点建设实验室";。现将取得的初步成果介绍如下:
(1)在微电子实验室建设的促进下,为适应新条件下的实验教学,我们调整了教材的选用范围。微电子学专业主干课教材立足选用国外、国内的优秀教材,特别是国外能反映微电子学发展现状及方向的先进教材,我们已组织教师编撰了能反映国际上集成电路发展现状的《集成电路原理》,选用了最新出版教材《大规模集成电路设计》,并编撰、重写及使用了《集成电路设计基础实验》、《超大规模集成电路设计实验》、《平面工艺实验》、《微电子器件原理》、《微电子器件工艺原理》等教材。
在重编实验教材时,改掉了";使用说明";式的教材编写模式。力图使实验教材能配合实验教学培养目标,启发学生的想象力和创造力,尤其是诱发学生的原发性创新能力乃至创新冲动。
(2)对本科微电子学的教学计划、教学大纲和教材进行了深入研究和大幅度调整,并充分考虑了实验课与理论课的有机结合。坚持并发展了我校微电子专业在器件工艺实验上的特色和优势,通过对实验课及其内容进行整合更新,使实验更具综合性。如将过去的单一平面工艺实验与测试分析技术有机的结合,将原来相互脱节的芯片工艺、参数测试、物理测试等有机地整合在一起,以便充分模拟真实芯片工艺流程。使学生在独立制造出半导体器件的同时,能对工艺控制进行实时综合分析。
(3)引入了国际上最通用、最先进的超大规模集成电路系统设计教学软件(如CADENCE等),使学生迅速地掌握超大规模集成电路设计的先进基本技术,激发其创造性。为了保证这一教学目的的实现,我们对
专业的整体教学计划做了与之配合的调整。在第5学期加强了电子线路系统设计(如EDA、PSPICE等)的课程和实验内容。在教学的第4学年又预留了足够的学时,作为学生进一步掌握这一工具的选修题目的综合训练。
(4)所有的实验根据专业基础课的进度分段对各年级学生随时开放。学生根据已掌握的专业理论知识和实验指导书选择实验项目,提出实验路线。鼓励学生对可提供的实验设施作自拟的整合,促进学生对实验课程的全身心的投入。
在实验成绩的评定上,不简单地看实验结果的正确与否,同时注重实验方案的合理性和创造性,注重是否能对实验现象有较敏锐的观察、分析和处理能力。
(5)通过送出去的办法,把教师和实验人员送到器件公司、设计公司培训,并积极开展了校内、校际间的进修培训。推促教师在专业基础和实验两方面交叉教学,提高了教师队伍的综合素质。
(6)将集成电路设计实验室建设成为电子信息类本科生的生产实习基地,为此,我们参加了中芯国际等公司的多项目晶圆计划。
加入了国内外EDA公司的大学计划,以利于实验室建设发展和提高教学质量,如华大公司支持微电子实验室建设,赠送人民币1100万元软件(RFIC,SOC等微电子前沿技术)已进入实验教学。
5结语