微细加工技术杂志 统计源期刊
主管单位：信息产业部 主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
双月刊 审稿周期：3-6个月
《微细加工技术》由伍三忠担任主编，创刊于1983年，由信息产业部主管、中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本电子领域专业期刊。主要刊载该领域内的原创性研究论文、综述和评论等，力求及时、准确、全面的反映该领域的政策、技术、应用市场及动态。
- 43-1140/TN 国内刊号
- 1003-8213 国际刊号
- 0.19 影响因子
- 758 总被引量
- 1983 创刊时间
微细加工技术期刊信息
- 出版语言：中文
- 创刊时间：1983年
- 国际刊号：1003-8213
- 曾用名：微细加工技术
- 纸张开本：A4
- 国内刊号：43-1140/TN
- 出版地区：湖南
- 发行周期：双月刊
微细加工技术期刊荣誉
微细加工技术编辑部联系方式
地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
邮编：410111
主编：伍三忠
微细加工技术发文选摘
-
1、电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
作者：卢文娟; 张玉林; 孔祥东
-
2、环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究
作者：张波; 薛虹
-
3、电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究
作者：尚鸿雁; 王永坤
-
4、飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究
作者：刘勋; 陈涛; 刘世炳; 左铁钏
-
5、光刻机试验运动装置振动信号的时频分析
作者：邓习树; 吴运新; 隆志力; 杨辅强
-
6、微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究
作者：付伟; 张之敬; 温楠
-
7、基于AFM的多图层图形加工
作者：李晓娜; 韩立
-
8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制备GaN纳米线
作者：李红; 薛成山; 庄惠照; 张晓凯; 陈金华; 杨兆柱; 秦丽霞
-
9、基于多种群遗传算法的膜系优化设计
作者：刘磊; 金春水; 金伟华
-
10、Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究
作者：李丽; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陈希明; 冯世娟
微细加工技术同类期刊
免责声明
若用户需要出版服务，请联系出版商，地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺），邮编：410111。本站仅做历史信息展示，不提供任何服务。